La deposizione MOCVD (Metal Organic Chemical Vapour Deposition) impiega precursori chimici sia in forma gassosa che metallo-organica. Questi vengono convogliati all’interno di una camera di processo mantenuta in vuoto, dove sono collocati i “wafer” che fungono da base di supporto per la struttura dei diversi strati che costituiscono la cella solare. Nella camera di crescita, si verificano processi termo-chimici ad elevata temperatura, culminanti nella formazione dei vari materiali semiconduttori a partire dai diversi precursori. 

Le condizioni di processo come la temperatura, la pressione, il flusso dei gas precursori, la composizione delle miscele dei reagenti sono opportunamente selezionate e costantemente monitorate, anche con tecniche di diagnostica “in situ”, per ottenere materiali con proprietà cristallografiche ed elettro-ottiche ottimali ai fini di elevare le performance delle celle solari.