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Sviluppo di processi post-crescita per celle multigiunzione

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Sviluppo di processi post-crescita per celle multigiunzione

Recently updated on Aprile 7th, 2021 at 01:41 pm

La fabbricazione di celle fotovoltaiche a concentrazione richiede diverse fasi di processo. In questo documento vengono descritte le attività svolte per lo sviluppo dei principali processi che seguono quello iniziale di crescita epitassiale mediante MOCVD e le tecniche di caratterizzazione relative. I processi sono stati identificati nelle loro tipologie principali durante le attività dell’anno precedente. Nel corso del 2010 si è quindi proceduto all’acquisto di una parte rilevante della strumentazione e delle dotazioni di laboratorio necessarie, alla loro installazione, collaudo e avvio. I principali risultati riguardano: – le procedure di deposizione e di sviluppo del resist per litografia – una prima definizione delle procedure e dei parametri per la litografia con fascio elettronico e l’ottenimento di diversi campioni di litografia di buona qualità con maschere per celle fotovoltaiche a concentrazione e con geometrie di testing per la misura della resistenza dei rebbi. – l’avvio della preparazione delle geometrie di griglia mediante AUTOCAD, in formato compatibile per l’importazione nel software di litografia – l’avvio dello studio per la modellazione e la ottimazione delle griglie frontali delle celle a concentrazione

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