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Capabilities of Grazing Incidence X-ray Diffraction in the Investigation of Amorphous Mixed Oxides with Variable Composition

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Capabilities of Grazing Incidence X-ray Diffraction in the Investigation of Amorphous Mixed Oxides with Variable Composition

GIXRD è impiegata per studiare la composizione di ossidi misti amorfi. Consideriamo film di Ta2O5-SiO2, di interesse come rivestimenti antiriflesso. Successivamente, viene eseguita l’ellissometria per correlare le loro proprietà ottiche alle caratteristiche GIXRD e quindi alla composizione.

La diffrazione da raggi X è stata sfruttata appieno per studiare i materiali cristallini, ma sono state condotte pochissime ricerche per svelarne le potenzialità nei confronti dei materiali amorfi. Qui, dimostriamo le capacità della Grazing Incidence X-Ray Diffraction nell’investigazione di ossidi misti amorfi. Dimostriamo che le caratteristiche di scattering a basso angolo mostrano una variazione significativa con la composizione.

 

Essa può essere quantificata con combinazione lineare di funzioni semplici, costruendo curve di calibrazione. Come caso di studio, consideriamo film amorfi Ta2O5-SiO2 di interesse nel fotovoltaico come rivestimenti antiriflesso. Le proprietà ottiche sono state misurate con ellissometria e correlate alla composizione del film. I risultati non solo evidenziano una correlazione tra profilo di diffrazione e composizione dei film amorfi, ma rivelano anche una strategia semplice e veloce per caratterizzare ossidi sottili amorfi di interesse industriale.

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