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Deposizione tramite sputtering HiPIMS e ottimizzazione di film sottili di Zn-IV-N2 perapplicazioni FV

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Deposizione tramite sputtering HiPIMS e ottimizzazione di film sottili di Zn-IV-N2 perapplicazioni FV

Studio della deposizione di film sottili di ZnSnN2 (ZTN) tramite High-Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS) e analisi delle proprietà del materiale per valutare la sua applicazione come strato assorbitore top in celle solari tandem su Si. La caratterizzazione ha riguardato composizione, morfologia, struttura, proprietà ottiche ed elettriche. La polarizzazione del substrato ha portato alla riduzione del drogaggio intrinseco e la band gap dello ZTN è stata stimata in circa 1,55 eV.

Il progetto ha approfondito la deposizione di film sottili del nitruro ZnSnN2 (ZTN) tramite sputtering reattivo DC (Direct Current) e HiPIMS (High-Power Impulse Magnetron Sputtering), per indagare la fattibilità del processo e studiare lo ZTN per applicazioni fotovoltaiche in celle solari tandem su Si. Sono stati indagati parametri di deposizione per ottimizzare i film di ZTN, utilizzando tecniche di caratterizzazione come SEM, EDX, XRD, Raman, ellissometria e analisi elettriche.

 

Si è evidenziata l’importanza del rapporto Zn/Zn+Sn nei film, con 0,67 come soglia critica per evitare ossidazione incontrollata. Con lo sputtering DC, l’aumento della temperatura del substrato ha migliorato la cristallinità e ridotto il contenuto d’ossigeno. Sia con DC che con HiPIMS si è ottenuto un controllo composizionale. Con HiPIMS, a temperatura ambiente si è dimostrato di poter sintetizzare film di ZTN con morfologia e cristallinità comparabili a quelli ottenuti in DC con riscaldamento del substrato (> 200 °C) e l’applicazione di una polarizzazione ha consentito di ottimizzare lo ZTN riducendo la concentrazione di portatori liberi fino a 2,5×1018 cm-3. Mediante ellissometria si è stimata una band gap di circa 1,55 eV, coerente con i risultati disponibili in letteratura, e si sono determinati indice di rifrazione e coefficiente di estinzione.

 

Sono stati inoltre identificati contatti ohmici (Au, Au/Ni) e rettificanti (Ag) sullo ZTN, fondamentali per le misure elettriche, e si è determinata la natura ohmica del contatto tra ZTN e vari substrati (FTO, ITO e Mo), sebbene si sia rilevata una certa instabilità del film su di essi. Anche la degradazione nel tempo, osservata principalmente su ZTN depositato via HiPIMS e riconducibile ad ossidazione del film, necessita di ulteriori indagini.

 

In conclusione, lo sputtering HiPIMS ha consentito di depositare ZTN di ottima qualità anche a temperatura ambiente, con caratteristiche superiori a quanto ottenuto con processo DC. In futuro, sarà necessario ricercare il controllo del drogaggio e del band gap per poter realizzare ZTN come assorbitore top in celle tandem su Si. La letteratura suggerisce che lo ZTN possa diventare di tipo p drogando con Li, che funge da accettore poco profondo. Tuttavia, limitare il drogaggio di tipo n non intenzionale risulta difficile e il Li interstiziale può generare siti donori, rendendo il drogante inefficace. L’ingegnerizzazione del band gap, per valori prossimi a 2 eV, necessita l’introduzione di elementi (ad es: Ge, Ti) per formare leghe quaternarie.

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